高性能和可操作性的完美平衡
Edwards RGA 殘余氣體分析儀
我們的新型 RGA 有兩種型號(hào)： PRA 和 WRA，二者操作均簡單有效，確保了高性能和高效率
所有 RGA 都配備了專用的、易于使用的軟件，可通過筆記本電腦對(duì)制程進(jìn)行實(shí)時(shí)跟蹤，并可對(duì)多達(dá) 16 臺(tái)不同的設(shè)備進(jìn)行詳細(xì)分析。對(duì)于那些想快速查看結(jié)果的人來說，這些設(shè)備都各自配有板載顯示屏，無需通過筆記本電腦連接即可顯示主要?dú)怏w類型以及系統(tǒng)的整體壓力。
Edwards PRA 殘余氣體分析儀
PRA 主要?dú)堄鄽怏w分析儀
Edwards PRA RGA 實(shí)現(xiàn)了高端性能和使用便利的完美平衡?？商峁┧姆N型號(hào)以滿足您的制程需求，無論您只需要基本型號(hào)還是需要具有更高靈敏度/范圍的產(chǎn)品，PRA 都是分析您制程的完美起點(diǎn)。
Edwards WRA 殘余氣體分析儀
WRA 寬量程殘余氣體分析儀
Edwards WRA RGA 是我們產(chǎn)品線的進(jìn)階型號(hào)，技術(shù)規(guī)格在市場上較為優(yōu)異?？商峁?/span> 1-200 amu 或 1-300 amu 兩種型號(hào)，您可以測量制程中的各種氣體/副產(chǎn)品。與 PRA 相比，該產(chǎn)品具有更高的靈敏度，可提高測量精度。
